【新技術】宮崎大、東ソー・ファインケムが酸化亜鉛の製膜技術を開発

宮崎大学工学部の吉野賢二准教授らの研究グループと東ソー・ファインケムは共同で、酸化亜鉛(ZnO)をスピンコート法で製膜する技術を開発することに成功した。新開発の亜鉛材料を基板に垂らし、200℃以下の低温、大気圧下で熱処理することにより、酸化亜鉛薄膜を形成することができる。酸化亜鉛薄膜は、フラットパネルディスプレイ(FPD)や薄膜太陽電池のキー部材となる透明電極向けでの採用拡大が期待されているが、現状ではスパッタや化学気相成長法(CVD)といった大型設備が必要。これをスピンコート工程で行うことができれば、大幅な工程短縮とコスト低減に結びつく可能性が高い。

宮崎大学、東ソー・ファインケムと共同で酸化亜鉛をスピンコート法で製膜する技術を開発(プレスリリース)

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