【新技術】京セラ、多層セラミックを使ったプラズマ発生用の電極基板開発

電極をセラミックで覆ったことにより、発生させたプラズマの均一性と電極の寿命を大幅に伸ばした。この電極を使いオゾン発生装置を試作、自動車排気ガスの改質や、すすの分解などの用途開発を進めているという。